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光刻机到底有多贵，大家可能会猜测一亿元或者几亿元。最近ASML向英特尔交付了一台非常特殊的光刻系统，这是ASML向客户交付的首台数值孔径的极紫外光刻系统，数值孔径的极紫外对应NA EUV，是目前最先进的光刻系统。仅这一台光刻系统的成本就超过了21亿元。
同时这台光刻系统还是一个庞然大物，组装完成后，它的体积甚至比一辆卡车都要大。仅仅运输这台光刻系统，就需要13个集装箱。
英特尔预计将会于2026年或2027年商用这台光刻系统，虽然不清楚英特尔将其用于哪些产品，但这样一台先进的产品，可以满足未来十年的光刻需求。
除了英特尔之外，像台积电、三星等也订购了该光刻系统，目前还在等待交付。